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MiniLED解键合设备
本设备针对MiniLED制程需求而开发,利用皮秒激光新工艺技术,对光束进行传输约束、光斑控制和光斑整形,配合精密直线运动平台以扫描的方式实现将GaN氮化镓基板与蓝宝石衬底剥离,广泛应用于LED、透明膜和吸收膜等工艺制造领域。
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